【摘 要】
：
提出了一种基于八角度孤立空检测标记的超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法。通过对八角度孤立空检测标记的空间像进行主成分分析（PCA）和多元线性回归分析,构建了超高NA光刻
【机 构】
：
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,中国科学院大学,上海微电子装备有限公司,
论文部分内容阅读
提出了一种基于八角度孤立空检测标记的超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法。通过对八角度孤立空检测标记的空间像进行主成分分析（PCA）和多元线性回归分析,构建了超高NA光刻投影物镜的空间像光强分布与高阶波像差之间的线性模型,并基于该模型实现了高阶波像差的检测。与使用六角度孤立空检测标记的传统方法相比,本方法提高了光瞳面波前的采样效率,拓展了波像差检测范围,实现了超高NA光刻投影物镜高阶波像差(Z5Z64)的高精度检测。光刻仿真软件PROLITH的仿真结果表明,该方法可实现60项泽尼克系数(Z5Z64)的检测,检测精度优于1.03×10-3λ。
其他文献
在构建和谐师生关系的过程中,处理好师生之间的矛盾是关键。批评与自我批评是校园师生生活的重要方面,对解决师生矛盾具有重要作用。
学校法制教育的深层次目标是学生法律意识的培养。在反思传统法律意识培养方法倾向于灌输式的基础上,以培养学生对法律的情感态度为起点,从以学生为主体的角度,提出与生活联
<正>综观世界各国公司治理结构有两个极端模式,一个极端是美国模式,其特点是“股东大会-董事会”两层结构,没有监事会;另一个极端是德国模式,其特点是“股东大会-监事会-董事
<正>在数据可视化领域,"信息之美奖"(The Kantar Information is Beautiful Awards)是2012年由英国数据记者大卫·麦克坎德莱斯发起建立的一个重要奖项,该奖项官网于2015年3
<正>尽管高通没有媲美于英特尔在PC界的品牌,但是,在移动终端产业,无论从技术或商业模式,高通都可谓让围观者"羡慕嫉妒恨"。从"小米风潮"被掀起的那一刻起,一枚低调的智能手
孔子学院作为中外合资建立的非营利性公益机构,建立六年来一直致力于世界各国人民对汉语学习的需要,增进世界各国人民对中国语言文化的了解,加强中外文化交流,构建和谐世界。
太阳房实用技术讲座（２）辽宁省能源研究所研究员王恒一太阳房的组成和基本原理一、太阳房的基本组成由于太阳房是集热、蓄热、耗热的综合体，所以它的基本组成系统应具备如下功能ｉ收
在过去的几年里,人们对表观遗传疾病的机理有了新的认识,这些疾病与染色质重塑、基因组印记、X染色体失活以及非编码RNA调控这4个表观遗传过程相关。这4个过程通过调节染色质
培养学生数学自主学习能力已成为高中数学新课程实施面临的重要课题之一。通过采取教师更新教育观念、激发学生自主学习意识、改进教学方法和指导学生学法等措施,可以较好地
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.