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介绍了电子束物理气相沉积设备的主要组成、工作原理和电子束物理气相沉积热障涂层的结构特点,并重点论述了工件转速、工件温度、靶材蒸汽入射角度、工件表面的粗糙度、粘结层预氧化、改性粘结层和双层陶瓷层等对电子束物理气相沉积热障涂层性能的影响。
电子束物理气相沉积制备热障涂层研究进展
【摘 要】
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介绍了电子束物理气相沉积设备的主要组成、工作原理和电子束物理气相沉积热障涂层的结构特点,并重点论述了工件转速、工件温度、靶材蒸汽入射角度、工件表面的粗糙度、粘结
【机 构】
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中国科学院金属研究所材料表面工程研究部,中国科学技术大学材料科学与工程学院
【出 处】
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装备环境工程
【发表日期】
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2019年1期
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