压电式驱动器参数优化设计

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根据压电效应理论设计出压电式驱动器。驱动器中悬臂梁的宽度、长度以及压电材料与非压电材料的厚度比例;对驱动器的输出位移有很大影响。利用MEMS专业有限元分析软件Conventor Ware,对压电式驱动器的各项参数进行分析,并对结构进行优化。
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