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期刊论文
TiO2系湿敏元件研究和进展
TiO2系湿敏元件研究和进展
来源 :传感器世界 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhihu2
【摘 要】
:
TiO2化学性质稳定,感湿性能优良,来源广泛,价格低廉,因而TiO2系湿敏元件得到了广泛的研究和应用,是一类十分有前途的湿敏材料.本文综述了TiO2系湿敏元件的研究和进展,详细介
【作 者】
:
张毅
孙以材
潘国峰
【机 构】
:
河北工业大学
【出 处】
:
传感器世界
【发表日期】
:
2005年1期
【关键词】
:
二氧化钛
湿敏
特性
制备
薄膜
titania
humidity-sensing
properties
preparation
thin film
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TiO2化学性质稳定,感湿性能优良,来源广泛,价格低廉,因而TiO2系湿敏元件得到了广泛的研究和应用,是一类十分有前途的湿敏材料.本文综述了TiO2系湿敏元件的研究和进展,详细介绍了几种TiO2系湿敏元件的材料配方,制备工艺,元件型式及湿敏性能.
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