【摘 要】
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用热丝辅助化学汽相沉积技术在Ｓｉ衬底上合成了含少量受主型杂质的近于本征的金刚石薄膜，并研究了三种金属（Ｃｕ，Ａｇ和Ａｌ）与它接触的电学特性，以及退火对接触特性的影响．结果表明Ｃｕ，Ａｇ与金刚石薄膜接
【机 构】
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北京工业大学应用物理系,兰州大学物理系
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用热丝辅助化学汽相沉积技术在Ｓｉ衬底上合成了含少量受主型杂质的近于本征的金刚石薄膜，并研究了三种金属（Ｃｕ，Ａｇ和Ａｌ）与它接触的电学特性，以及退火对接触特性的影响．结果表明Ｃｕ，Ａｇ与金刚石薄膜接触的电学特性比较类似，而Ａｌ则明显不同；而且退火对它们的接触特性影响很大
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