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本文研制的智能测试仪能直接同金属表面所镀介质膜的厚度，文中介绍了测量原理和仪器结构。
智能介质膜厚度测试仪的研制
【摘 要】
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本文研制的智能测试仪能直接同金属表面所镀介质膜的厚度，文中介绍了测量原理和仪器结构。
【机 构】
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南开大学电子科学系
【出 处】
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半导体杂志
【发表日期】
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1997年2期
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