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Ｓｅｎｄｕｓｔ合金是制做薄膜磁头和ＭＩＧ磁头的理想材料，本工作用射频溅射法了备了Ｓｅｎｄｕｓｔ成分的ＦｅＳｉＡｌｗ合金薄膜，研究了制备对膜结构和软磁性能的影响，并对其机理进行了讨论。
溅射FeSiAl合金薄膜的结构及软磁性能
【摘 要】
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Ｓｅｎｄｕｓｔ合金是制做薄膜磁头和ＭＩＧ磁头的理想材料，本工作用射频溅射法了备了Ｓｅｎｄｕｓｔ成分的ＦｅＳｉＡｌｗ合金薄膜，研究了制备对膜结构和软磁性能的影响，并对其机理进行了讨论。
【机 构】
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兰州大学物理系
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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1997年5期
【基金项目】
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兰州大学博士科研启动基金
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