磁悬浮进给机构的PID控制及仿真试验

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【摘要】

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采用磁悬浮技术把运动部件悬浮在运行导轨之上,利用直线电机无接触驱动运动部件,从而实现机构的进给运动,该运动无摩擦和磨损,是-个无阻尼系统.选用合理的增益系数后,运用PID

【作者】

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宋文荣于国飞何惠阳

【机构】

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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林大学机械科学与工程学院

【出处】

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微细加工技术

【发表日期】

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2003年3期

【关键词】

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磁悬浮进给机构 PID控制直线电机无阻尼系统 magnetic levitation(maglev) feeding mechanism linear m

【基金项目】

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吉林省自然科学基金，中国科学院研究生院资助项目

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采用磁悬浮技术把运动部件悬浮在运行导轨之上,利用直线电机无接触驱动运动部件,从而实现机构的进给运动,该运动无摩擦和磨损,是-个无阻尼系统.选用合理的增益系数后,运用PID控制技术可对机构的进给运动进行精确的控制.仿真结果与精度分析表明,磁悬浮无阻尼结构有利于改善进给机构的位移输出动态性能,提高运动控制精度,控制精度误差不大于0.6μm或0.2μm.

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