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<正>金刚石由于具有高的热传导率、机械硬度和杰出光学特性而在某些领域中有突出的作用。工业生产中应用化学气相沉积（CVD）法产生金刚石层已经有20几年的历史了。然而传统的CVD过程是在毫巴量级的真空腔中进行的,以致于沉积生长速度慢,每小时只有几个微米,且真空系统造价昂贵,真空腔中的自由空间受限。
大气条件下金刚石的光等离子体沉积
【摘 要】
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<正>金刚石由于具有高的热传导率、机械硬度和杰出光学特性而在某些领域中有突出的作用。工业生产中应用化学气相沉积（CVD）法产生金刚石层已经有20几年的历史了。然而传统的CVD
【出 处】
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光电子技术与信息
【发表日期】
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2002年4期
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