【摘 要】
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本文叙述了用特种光纤组成的小光点机械扫描系统。光点直径φ12—15μm,最小测试光功率约10pw,最佳扫描光敏直径φ150μm—12mm。利用本系统对平面型硅光电二极管的光敏范围,
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本文叙述了用特种光纤组成的小光点机械扫描系统。光点直径φ12—15μm,最小测试光功率约10pw,最佳扫描光敏直径φ150μm—12mm。利用本系统对平面型硅光电二极管的光敏范围,局部击穿及增益均匀性等进行扫描测试。根据不同情况下器件光电流的分布图象。对制作工艺进行了分析和讨论。
This article describes the use of special optical fiber small spot mechanical scanning system. Light spot diameter φ12-15μm, the minimum test optical power of about 10pw, the best scanning photosensitive diameter φ150μm-12mm. The system using the planar silicon photodiode photosensitive area, local breakdown and gain uniformity and other scanning test. According to different circumstances, the distribution of photocurrent images. The production process was analyzed and discussed.
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