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利用射频磁控溅射技术在冷作模具钢片上沉积了TiB2涂层。分别采用场发射扫描电子显微镜和小掠射角X射线衍射方法研究了涂层横截面的形貌和晶体结构，并对涂层的纳米硬度和摩擦性能进行了表征。结果表明，TiB2涂层的厚度均匀，结构致密，沿（001）晶向择优生长，具有纳米晶结构，硬度显著提高，耐磨性能好。
纳米结构TiB2涂层的制备及性能
【摘 要】
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利用射频磁控溅射技术在冷作模具钢片上沉积了TiB2涂层。分别采用场发射扫描电子显微镜和小掠射角X射线衍射方法研究了涂层横截面的形貌和晶体结构，并对涂层的纳米硬度和摩擦
【机 构】
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华中科技大学模具技术国家重点实验室
【出 处】
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金属热处理
【发表日期】
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2006年7期
【基金项目】
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东莞市科研发展专项基金（2003D1011）
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