论文部分内容阅读
采用Ti粉和B粉燃烧合成制备了TiB2粉末,将所得粉末真空热压后得到TiB2磁控溅射靶材,并用射频溅射方法在不锈钢基片上沉积了TiB2涂层。采用XRD法检测了靶材和涂层的相结构组成;测试了涂层的显微硬度、干摩擦磨损性能。结果表明:靶材和涂层都由TiB2单相组成;与没有涂层的基片相比,TiB2涂层大幅度地提高了基片的硬度和耐磨性。