【摘 要】
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阐述晶圆可接受测试(WAT)是晶圆代工厂在出货前的一道重要工序.WAT测试结果的精准度决定着晶圆片能否顺利出货.因此,WAT工程师的一项重要工作是提高WAT测试的精确度以及减少
【机 构】
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上海华力微电子有限公司,上海 201203
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阐述晶圆可接受测试(WAT)是晶圆代工厂在出货前的一道重要工序.WAT测试结果的精准度决定着晶圆片能否顺利出货.因此,WAT工程师的一项重要工作是提高WAT测试的精确度以及减少测试问题.探讨chuck载物台以及信号线对于测试电阻及其他参数的影响,提出一种提高测试仪器精确度以及测试系统的评估方法.
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