【摘 要】
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随着芯片引脚间距的减小以及芯片焊接温度的降低，更高频率的超声波换能器在芯片封装行业中有着广泛的应用前景。通过有限元分析软件ANSYS10．0建立了工作频率为133kHz的超声换能
【基金项目】
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浙江省自然基金项目（R1100015）
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随着芯片引脚间距的减小以及芯片焊接温度的降低，更高频率的超声波换能器在芯片封装行业中有着广泛的应用前景。通过有限元分析软件ANSYS10．0建立了工作频率为133kHz的超声换能器的有限元模型，研究其工作频率附近振动模态特性，结果表明，超声换能器易产生频率混叠现象，导致焊接质量下降。采用频率灵敏度分析法对换能器结构参数进行优化，使工作模态频率与非工作模态频率的最小间隔由0．7kHz增加到4．6kHz，有效地抑制了频率混叠。使用安捷伦阻抗分析仪对加工的超声换能器的阻抗特性进行测试，仿真结果与测试结果能够很好
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