【摘 要】
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镱(Yb)应力传感器是一种新型金属压阻式传感器。在0～3.5GPa的低压范围内,与典型的锰铜、碳膜等应力传感器比较,镱传感器的压阻特性稳定,具有纳秒级的快速响应,压阻系数大,灵
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镱(Yb)应力传感器是一种新型金属压阻式传感器。在0～3.5GPa的低压范围内,与典型的锰铜、碳膜等应力传感器比较,镱传感器的压阻特性稳定,具有纳秒级的快速响应,压阻系数大,灵敏度高。薄膜镱应力传感器主要特点如下: 1.压阻特性稳定,测量重复性好。
Ytterbium (Yb) stress sensor is a new type of metal piezoresistive sensor. In the low pressure range of 0 ~ 3.5GPa, the ytterbium sensor has a stable piezoresistive property, fast response in nanosecond range, large piezoresistivity and high sensitivity as compared with the typical stress sensors such as manganese copper and carbon film. Film ytterbium stress sensor main features are as follows: 1 piezoresistive characteristics of stability, good measurement repeatability.
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