【摘 要】
：
设计和制备了一种新型的电热驱动微电子机械（MEMS）继电器，并进行了性能测试。整个工艺采用非硅MEMS工艺，利用Cu作为牺牲层材料，Ni作为微继电器的结构材料。微继电器是基于杠杆放大
【机 构】
：
上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助(50875169)
论文部分内容阅读
设计和制备了一种新型的电热驱动微电子机械（MEMS）继电器，并进行了性能测试。整个工艺采用非硅MEMS工艺，利用Cu作为牺牲层材料，Ni作为微继电器的结构材料。微继电器是基于杠杆放大原理设计的，因此能够获得较大的行程；驱动臂采用“U”型梁设计，能够在不增加功耗的条件下，获得较大的驱动力。并采用Ansys10.0有限元软件对微继电器进行了模拟分析。测试结果表明，这种微型继电器具有体积小、驱动电压低、切换速度快等优点。
其他文献
<正>课前师生分头进行课前准备。学生搜索有关作者和作品的资料并研读课文,提出问题。教师选择并整合选择学生的问题,调整教学目标和实施方案。整个教学过程采用学生品读在先
通过教学实验及问卷调查,指出冰上课准备活动的重要意义,并提出合理化建议,旨在不断提高普通高校冰上课教学质量,为教学任务的顺利完成提供保证。
语境—语言交际的基石,一直是语言学界的广泛关注的焦点。语用学家和社会语言学家分别从不同的层面和角度对语境进行了定义和分类。20世纪90年代以来,语言教师认识到语境在语
带式输送机是煤矿工业生产中非常重要的运输工具,而钢丝绳作为带式输送机的常用部件,其可靠性在很大程度上影响到带式输送机的安全运行,甚至直接影响到煤矿企业的安全生产。
针对深部综放大断面沿空掘巷小煤柱宽度确定的难题，以东滩煤矿沿空巷道小煤柱尺寸确定为例，首先通过对小煤柱力学模型分析确定小煤柱宽度应大于2．74m；然后经过数值模拟研究不同尺
制备OP-10/正辛醇/环己烷/氨水微乳液.在该微乳液中,由正硅酸乙酯在碱性条件下受控水解反应制备了SiO2纳米粒子.通过红外光谱(FT-IR)、X射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)分别对
<正> 面积:237,500平方公里人口:2277万人(1986年),罗马尼亚族占88.8%,其余为匈牙利族、德意志族、犹太族等。国语为罗马尼亚语。首都:布加勒斯特(Bucharest)自然位置:位于欧
<正>浙财采监〔2014〕28号各市、县(市、区)财政局,省级各单位:为积极稳妥地推进我省政府购买服务工作,我们制定了《浙江省政府购买服务采购管理暂行办法》,现印发给你们,请
在我国建筑事业发展中,造价咨询单位受到广泛重视,传统的造价审计方式已经无法满足建筑企业的发展需求,造价咨询单位需要科学应用建筑工程跟踪审计方式,提升其工作质量,满足
在目前的音乐教育课程改革过程中，存在着对现代化教学技术手段的运用“唯上”的误区，如何走出这一误区？广大音乐教师应该有如下的意识：现代化教育技术的运用并不是一节有效音乐课