Si／Si0.64Ge0.36／Si MOSFET沟道技术

来源 :电子材料快报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shi0206lei

【作者】

：

苏宇欢

【出处】

：

电子材料快报

【发表日期】

：

1999年9期

【关键词】

：

硅锗化硅 MOSFET 沟道技术

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