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介绍了GaN材料的优良特性以及工艺上存在的问题;着重介绍了GaN微电子器件的历史发展和最新发展;GaN微电子器件发展表现出较大应用潜力。
GaN微电子器件的研究进展
【摘 要】
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介绍了GaN材料的优良特性以及工艺上存在的问题;着重介绍了GaN微电子器件的历史发展和最新发展;GaN微电子器件发展表现出较大应用潜力。
【机 构】
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北京工业大学电控学院,河北省科学院应用数学研究所,石家庄开发区冀科双实科技有限公司,河北省信息安全认证工程技术研究中心,河北省安装工程公司
【出 处】
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河北省科学院学报
【发表日期】
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2011年1期
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