论文部分内容阅读
为提高波分复用（WDM）光通信网中核心器件光开关的响应速度，设计并制备了SiO2／聚合物复合型Y分支结构波导热光开关。器件选择具有高热导率的SiO2作为波导的下包层，低成本的聚甲基丙烯酸甲脂一甲基丙烯酸环氧丙酯共聚物（P（MMA—GMA））作为芯层和上包层，利用束传播法模拟和优化Y分支波导的设计，通过光刻、刻蚀和蒸发等传统半导体工艺进行器件制备。实验测得开关插入损耗为12dB，消光比为18dB，方波驱动的上升和下降响应时问均为200μs。实验结果表明，SiO2／聚合物复合波导结构可有效提高热场的扩散速度和