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CuCl^＋离子注入不同晶向的α-Al2O3，晶体中，对在还原气氛下退火后的试样进行SEM表面观察。结果发现，不同注入条件和不同温度退火的不同晶向α-Al2O3，晶体表面均形成弥散的亚微米颗粒。说明CuCl^＋离子注入α-Al2O3，晶体产生的缺陷损伤在退火过程中，单个分散的带电色心缺陷与CuCl^＋离子形成的缺陷缔合体在恢复过程中发生了CuCl原子的偏聚，随着退火时间的增加，偏聚程度提高而形成颗粒，并逐渐长大形成亚微米颗粒。颗粒的大小和分布随注入条件以及退火温度不同而不同。