【摘 要】
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Based on thermo-optical effect of silicon, a 2 × 2 switch is fabricated in silicon-on-insulator by chemical etching.The switch presents an extinction ratio of
【机 构】
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State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of
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Based on thermo-optical effect of silicon, a 2 × 2 switch is fabricated in silicon-on-insulator by chemical etching.The switch presents an extinction ratio of 26dB and a power consumption of 169mW. The response time is ～ 10.5μs.
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