【摘 要】
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提出一种可制作纳米量级任意微细结构图形的新方法.该方法利用特别设计制作的原子束计算全息片来操纵原子运动,在基底堆积形成纳米图形;弥补了原子光刻技术中利用激光驻波场
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
【基金项目】
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中国科学院知识创新工程项目，中国科学院所长基金
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提出一种可制作纳米量级任意微细结构图形的新方法.该方法利用特别设计制作的原子束计算全息片来操纵原子运动,在基底堆积形成纳米图形;弥补了原子光刻技术中利用激光驻波场控制原子堆积只能制作单一量子点、线等周期性图形的不足.扼要介绍了原子束全息的基本原理,给出该项技术的实现方案,并进行了模拟研究.结果显示:当原子波长为12 nm时,得到了占空比1:1的50nm线条、60nm方孔以及1.2μm×1.2μm大小的汉字图像,表明该技术不仅可以制作点、线等规则图形以及像拐角线这样的周期性图形,还可以制作不规则的
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