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扫描隧道显微镜纳米加工技术的研究扫描隧道显微镜ＳＴＭ（ＳｃａｎｎｉｎｇＴｕｎｎｅｌｉｎｇＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）不但具有时物质表面原子结构的三维成象能力，而且通过控制ＳＴＭ针尖发射电子、离子及针尖与基底的机械接触等还可以在纳米尺度内改变物质特定区域的徽...
扫描隧道显微镜纳米加工技术的研究
【摘 要】
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扫描隧道显微镜纳米加工技术的研究扫描隧道显微镜ＳＴＭ（ＳｃａｎｎｉｎｇＴｕｎｎｅｌｉｎｇＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）不但具有时物质表面原子结构的三维成象能力，而且通过控制ＳＴＭ针尖发射电子、离子及针尖与基底的机械接触等还可以在纳米尺度内改
【机 构】
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国家教委分子与生物分子电子学实验室
【出 处】
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东南大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1994年5期
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