【摘 要】
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准分子激光具有波长短、能量大等特点,在集成电路光刻、材料加工、医学、科研等领域具有重要的应用。与国外先进水平相比,我国高端准分子激光技术仍存在较大差距。本文首先简
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所
【基金项目】
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中国工程院咨询项目“我国激光技术与应用2035发展战略研究”(2018-XZ-27)
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准分子激光具有波长短、能量大等特点,在集成电路光刻、材料加工、医学、科研等领域具有重要的应用。与国外先进水平相比,我国高端准分子激光技术仍存在较大差距。本文首先简要介绍了准分子激光的特点和发展历史,然后分析了国内外准分子激光技术及相关典型应用的发展现状及需求,之后提出了我国准分子激光技术发展的主要问题。最后,针对相关问题及需求,建议未来重点在基础共性技术研究(高性能高端深紫外波段元器件设计、制备与性能表征研究,放电动力学等基础理论及验证研究等)、长脉冲、高重频、大能量/功率技术、新兴或潜在应用领域及衍生技
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