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光刻胶产品主要适用于集成电路产业和平板显示器产业的光刻工艺,以得到精细线路。文章介绍了高世代平板显示器用光刻胶产品的性能,用途。
光刻胶产品的介绍
【摘 要】
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光刻胶产品主要适用于集成电路产业和平板显示器产业的光刻工艺,以得到精细线路。文章介绍了高世代平板显示器用光刻胶产品的性能,用途。
【机 构】
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安智电子材料苏州有限公司品质部
【出 处】
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科技创新与应用
【发表日期】
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2014年35期
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