高反差i线CEL的亚半微米光刻

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本文报道了一种新研制的无金属水溶性i线CEL及其成象特性。CEL的A、B、C参数分别为18μm~(-1),0.12μm~(-1)及0.09cm~2/mJ。使用CEL可使γ值从3增大到20,其图象的空间影象反差值可达0.4。这表明,通过大数值孔径透镜的i线刻蚀,有可能实现0.3μm微细加工。 This paper reports a newly developed metal-free water soluble i-line CEL and its imaging characteristics. The A, B and C parameters of CEL were 18μm -1, 0.12μm -1 and 0.09cm 2 / mJ, respectively. The use of CEL can make γ value increased from 3 to 20, the image of the spatial image contrast of up to 0.4. This shows that it is possible to achieve 0.3 μm microfabrication by i-line etching of a large numerical aperture lens.
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