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用于高速电路的InP基共振隧穿二极管制作

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：song656334704

【摘 要】

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在InP衬底上采用感应耦合等离子体刻蚀技术制备了高性能的AlAs/In0.53Ga0.47As/InAs共振隧穿二极管.正向偏压下PVCR=7.57,Jp=39.08kA/cm^2;反向偏压下PVCR=7.93,Jp=34.56kA/c

【作 者】

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马龙 黄应龙 张杨 王良臣 杨富华 曾一平 

【出 处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2006年6期

【关键词】

：

共振隧穿二极管 感应耦合等离子体 I-V特性 高频 resonant tunneling diode inductively coupled plasma cu 

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划资助项目（批准号：2003AA302750）Project supported by the National High Technology Research and Development Program of China（No. 2003AA302750）.Acknowledgements The authors would like to thank Mrs. Wan

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在InP衬底上采用感应耦合等离子体刻蚀技术制备了高性能的AlAs/In0.53Ga0.47As/InAs共振隧穿二极管.正向偏压下PVCR=7.57,Jp=39.08kA/cm^2;反向偏压下PVCR=7.93,Jp=34.56kA/cm^2.在未去除测试电极和引线等寄生参数影响下,面积为5μm×5μm的RTD的阻性截止频率为18.75GHz.最后对非对称的I-V特性进行了分析讨论.

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