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等离子体MOCVD法制备纳米Al2O3粉末及其表征

来源 :武汉科技大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：twffhvknnh

【摘 要】

：

讨论等离子体有机金属化学气相沉积（MOCVD）法制备纳米Al2O3粉末，同时研究了反应温度、压力、TMA浓度和反应气体（CO2和O2）等制备条件对Al2O3结构性能的影响。试验结果表明，压力增加

【作 者】

：

韩世忠 庞庆 严红 陈京会 何林 郑鹏 

【机 构】

：

武汉数字工程研究所,武汉科技大学化学工程与技术学院

【出 处】

：

武汉科技大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2008年2期

【关键词】

：

纳米AL2O3 MOCVD 等离子体 nanosized Al2O3 ； thermal MOCVD； plasma 

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讨论等离子体有机金属化学气相沉积（MOCVD）法制备纳米Al2O3粉末，同时研究了反应温度、压力、TMA浓度和反应气体（CO2和O2）等制备条件对Al2O3结构性能的影响。试验结果表明，压力增加有利于纳米Al2O3制备。在压力为5．3kPa、温度为1000℃下，采用MOCVD法可以制备平均直径为2．5nm的Al2O3粉末。而压力从5．3kPa增加到100kPa时，Al2O3颗粒平均直径从2．5nm增加到10nm。温度升高可以促使纳米Al2O3合成。通过透射电镜（TEM）观测到Al2O3粉末为球形。X射线衍

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