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对无磨料低温抛光这种全新的工艺方法进行了系统的研究,包括抛光设备、抛光冰盘的制备、工件盘的制备、抛光盘的修整、抛光后工件的清洗、抛光后表面粗糙度的测量等.并用此种方法对石英晶体进行了抛光实验,得到了 Ra0.53mm的超光滑表面,结果证明这是一种获得超光滑表面的新方法.
无磨料低温抛光的工艺方法研究
【摘 要】
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对无磨料低温抛光这种全新的工艺方法进行了系统的研究,包括抛光设备、抛光冰盘的制备、工件盘的制备、抛光盘的修整、抛光后工件的清洗、抛光后表面粗糙度的测量等.并用此种
【机 构】
：
清华大学,清华大学,吉林大学
【出 处】
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机械设计与制造
【发表日期】
：
2005年1期
【基金项目】
：
国家自然科学基金
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