【摘 要】
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设计、制作了几种基于MMIC工艺的片上LC低通/带通滤波器并进行了测试.测试结果表明,一个3nH的MMIC电感在6.8GHz下品质因数达到13.8,自谐振频率达到15.5GHz;制作的LC低通/带通
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室,
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设计、制作了几种基于MMIC工艺的片上LC低通/带通滤波器并进行了测试.测试结果表明,一个3nH的MMIC电感在6.8GHz下品质因数达到13.8,自谐振频率达到15.5GHz;制作的LC低通/带通滤波器的截止频率或中心频率与设计偏差很小,分别为2%和3.3%;低通滤波器在各自通带内的插入损耗小于3dB,带通滤波器在中心频率的插入损耗为7.2dB.
The design and fabrication of several on-chip LC lowpass / bandpass filters based on MMIC technology were tested and tested.The results show that a 3nH MMIC inductor achieves a quality factor of 13.8 at 6.8GHz and a self-resonant frequency of 15.5GHz. Of the LC low-pass / band-pass filter cutoff frequency or center frequency and design deviation is very small, respectively, 2% and 3.3%; low-pass filter in their respective passband insertion loss is less than 3dB, bandpass filter in the center The insertion loss of frequency is 7.2dB.
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