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研究了不同偏置条件对ＰＭＯＳ探头样品辐照响应的影响．在－ １～１ＭＶ／ｃｍ 的电场范围内，获得了偏置对ＰＭＯＳ剂量计辐照响应灵敏度和线性度的影响规律．利用“空穴陷阱薄层（Ｈｏｌｅ Ｔｒａｐｓ Ｓｈｅｅｔ）”模型，结合辐射感生界面电荷的栅偏置电场相关性，分析了实验结果．
偏置对PMOS剂量计辐照响应的影响
【摘 要】
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研究了不同偏置条件对ＰＭＯＳ探头样品辐照响应的影响．在－ １～１ＭＶ／ｃｍ 的电场范围内，获得了偏置对ＰＭＯＳ剂量计辐照响应灵敏度和线性度的影响规律．利用“空穴陷阱薄层（Ｈｏｌｅ Ｔｒａｐｓ Ｓｈｅｅｔ）”模型，结合辐射感生界面电荷的栅偏置电场相关性，分析了实验结果．
【机 构】
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中国科学院新疆物理研究所!乌鲁木齐830011,中国科学院新疆物理研究所!乌鲁木齐830011,中国科学院新疆物理研究所!乌鲁木齐830011,中国科学院新疆物理研究所!乌鲁木齐830011,中国科学
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2000年02期
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