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阐述了微机械气流式水平姿态传感器的三维建模技巧及仿真。利用ANSYS-FLOTRANCFD软件，通过建立三维实体模型、划分网格、加载和求解等途径，进行了有限元仿真。为了使分析更为简便可行，提出了合理的模型建立方案，采用了截取部分体积建模的方法，节省了大量的计算时间；而多次网格划分及关键线偶数段划分的技巧，提高了仿真结果的准确性和计算进度。这种三维建模方法提高了微机械水平姿态传感器敏感机理研究的精确性。