离子束抛光热效应研究

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离子束加工时工件温升较高,由此会产生热应力和热变形,影响加工精度。基于实际抛光测试了离子束加工过程中工件表面温度场分布,利用ANSYS软件对工件热变形进行了仿真分析,采用均匀抛光的方法研究了热应力和热变形对工件面形精度的影响。研究结果显示:离子束抛光过程中工件的温度可能会升至200℃,工件总变形量最大可达30μm;工件装夹应力是热变形能否恢复的关键,当工件装夹应力较小时,热变形对加工精度影响很小。
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