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用大直径中空柱状阴极直流磁控溅射装置, 在Φ51 mm LaAlO3衬底上制备了YBCO薄膜. 利用X射线衍射、电子通道花样、Φ扫描、扫描电镜对薄膜进行了分析. 在51 mm直径范围内薄膜的零电阻温度Tc为88～90 K.
大面积YBCO超导薄膜沉积工艺
【摘 要】
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用大直径中空柱状阴极直流磁控溅射装置, 在Φ51 mm LaAlO3衬底上制备了YBCO薄膜. 利用X射线衍射、电子通道花样、Φ扫描、扫描电镜对薄膜进行了分析. 在51 mm直径范围内薄膜
【机 构】
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北京有色金属研究总院,北京,100088
【出 处】
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稀有金属
【发表日期】
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2004年期
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