论文部分内容阅读
采用射频磁控浅射法制备了用于非致冷红外焦平面阵列的BST((Ba0.7Sr0.3)TiO3)铁电薄膜热敏电容器,介绍了热敏电容器上下电极的选材和制备及铁电薄膜的制备工艺。根据热敏电容器的电容-温度曲线,分析了热敏电容器的工作原理。实验结果表明BST铁电薄膜热敏电容器可以工作在室温附近,约26℃处。