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为了探讨具有优良性能的SnO2气敏元件的研制方法,依据半导体晶界气敏理论,以SnO2为基体材料,采用烧结型工艺和溶胶-凝胶方法制备出了气敏器件,并对该元件的气敏特性进行了测试.结果表明,采用溶胶-凝胶方法制备的气敏元件具有较高的灵敏度和低电阻等特点,对氢气响应时间可以达到5s.
SnO2气敏元件敏感性能的研究
【摘 要】
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为了探讨具有优良性能的SnO2气敏元件的研制方法,依据半导体晶界气敏理论,以SnO2为基体材料,采用烧结型工艺和溶胶-凝胶方法制备出了气敏器件,并对该元件的气敏特性进行了测
【机 构】
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哈尔滨理工大学应用科学学院
【出 处】
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哈尔滨理工大学学报
【发表日期】
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2005年4期
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