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介绍了碳化硅材料和器件的最新进展。
SiC材料与器件
【摘 要】
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介绍了碳化硅材料和器件的最新进展。
【机 构】
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河北半导体研究所
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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2001年2期
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