Ca3Mn2O7薄膜的脉冲激光法制备及其电学性质

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为了验证Ca3Mn2O7薄膜铁电性的存在,采用脉冲激光沉积法制备了Ca3Mn2O7薄膜,分别利用X线衍射仪、原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)和压电力显微镜(PFM)对不同压强下制备所得样品进行结构表征、表面形貌表征和电学性质分析.分析结果表明:30 Pa的氧气压最有利于较高质量薄膜的生长.利用PFM对其进行电学性质测试,实现了点状区域铁电畴相位回线和振幅'蝴蝶'曲线的表征以及面状区域内外加电场调控铁电极化方向的改变,验证了理论预测的CMO中铁电性的存在.
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