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利用扫描电镜上安装的X线能谱仪,研究样品的微区法向不能准确确定时对定量分析结果准确性产生的影响程度,提出了一种确定样品微区法向的方法.实验表明该法有利于定量分析准确度的提高.
EDS分析中微区法向的确定方法
【摘 要】
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利用扫描电镜上安装的X线能谱仪,研究样品的微区法向不能准确确定时对定量分析结果准确性产生的影响程度,提出了一种确定样品微区法向的方法.实验表明该法有利于定量分析准确
【机 构】
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云南大学物理系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2001年2期
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