碳纳米管在微机电系统（MEMS）中的应用研究

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jingcheng0417

【摘要】

：

碳纳米管研究的不断发展为其与微机电系统(MEMS)的结合提供了可能,这种结合"Top-down"与"Bottom-up"的方法是微米/纳米技术的一个发展趋势.介绍了碳纳米管的特性及其在MEMS上

【作者】

：

叶雄英郭琳瑞周兆英

【机构】

：

清华大学

【出处】

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微细加工技术

【发表日期】

：

2004年1期

【关键词】

：

碳纳米管微机电系统 MEMS 纳机电系统磁学性能制备方法 MEMS carbon nanotubes NEMS

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碳纳米管研究的不断发展为其与微机电系统(MEMS)的结合提供了可能,这种结合"Top-down"与"Bottom-up"的方法是微米/纳米技术的一个发展趋势.介绍了碳纳米管的特性及其在MEMS上的潜在应用,综述了碳纳米管的制备方法以及与MEMS技术的兼容性,列举了目前一些碳纳米管与MEMS结合研究的典型,并对其发展趋势进行了分析.

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