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罗门哈斯公司宣布与IBM公司达成开发注入解决方案的协议
罗门哈斯公司宣布与IBM公司达成开发注入解决方案的协议
来源 :电子质量 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wwkuan
【摘 要】
:
罗门哈斯电子材料公司(Rohm and Haas Electronic Materials)是为半导体行业提供高级光刻材料的领先企业。该公司与TBM公司签署了联合开发协议,共同开发电路图案成形(parterning)
【出 处】
:
电子质量
【发表日期】
:
2008年3期
【关键词】
:
罗门哈斯公司
IBM公司
罗门哈斯电子材料公司
开发
协议
半导体行业
Haas
光刻材料
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罗门哈斯电子材料公司(Rohm and Haas Electronic Materials)是为半导体行业提供高级光刻材料的领先企业。该公司与TBM公司签署了联合开发协议,共同开发电路图案成形(parterning)材料和工艺,为32纳米及其以下节点的注入(implant)提供支持。
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