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介绍国内外石英器件加工工艺发展 ,以石英摆片为例 ,介绍石英器件常用的加工工艺以及石英器件加工工艺的最新工艺进展
石英器件加工工艺及最新进展
【摘 要】
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介绍国内外石英器件加工工艺发展 ,以石英摆片为例 ,介绍石英器件常用的加工工艺以及石英器件加工工艺的最新工艺进展
【机 构】
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哈尔滨工业大学机电学院,东南大学无线电系,哈尔滨工业大学机电学院,哈尔滨工业大学机电学院,哈尔滨工业大学机电学院
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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2000年06期
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