【摘 要】
：
研究并设计了一种适用于直流磁控溅射的新型数字化电源。针对直流磁控溅射工艺的要求,从系统控制策略和电弧保护两方面进行研究。设计了带指令电流前馈补偿的双闭环控制策略,
论文部分内容阅读
研究并设计了一种适用于直流磁控溅射的新型数字化电源。针对直流磁控溅射工艺的要求,从系统控制策略和电弧保护两方面进行研究。设计了带指令电流前馈补偿的双闭环控制策略,并给出详细的设计方法;提出溅射过程出现异常弧光现象时,针对软弧和硬弧采取不同保护方式的两级保护方法,并描述了基于HCPL-316J的驱动电路设计。搭建10 kw实验样机进行验证,结果 表明带指令电流前馈补偿的双闭环控制策略具有良好的动态性和稳定性,两级保护方法 可有效熄灭电弧,提升溅射的质量。
其他文献
本论文以绿色合成为目标,进行了两部分内容的研究即经典有机反应——Barbier反应的绿色化研究和2型糖尿病治疗药物西他列汀侧链(3-三氟甲基-5,6,7,8-四氢[1,2,4]三唑并[4,3-a
对 32 0 M双频回声测深仪的测量淤泥厚度的性能进行了静态、动态测试和分析 ,测试结果表明在平缓的水下地形处 ,32 0 M淤泥厚度测量的结果较为稳定 ,与淤泥测量杆的测量结果
为克服炉缸局部热状态评判的局限性,全面考虑高炉各冷却壁段水温差对热状态的影响,该文建立基于时间序列的高炉水温差多维度模糊综合评判模型。首先,选取炉身、炉腰、炉腹、
云南是我国两烟生产的重要基地,云南烟草产业的发展对国家经济和地方经济都有着举足轻重的影响。在目前的形势下,如何充分利用优势扬长避短,正确地应对国际国内烟草产业的发
有稿同传作为同声传译的一个类型,它的主要特点是译员于工作过程中可以借助发言人讲话的原稿、译稿以及其他材料来进行同传。许多人都认为译员在同传时有稿可依是一个极大的
目的:探讨颈动脉粥样硬化程度与冠状动脉病变程度的相关性。方法:随机选取2013年1-12月笔者所在医院收治的冠状动脉造影患者210例,根据患者的病变程度将其分为冠心病组(110例
我国西北地区历史悠久、民族众多,甘肃省作为西北地区的一个大省,人口由45个民族构成,拥有7个民族自治县和39个民族乡。每个民族的音乐文化形成都经过了几个世纪的锤炼,它们
近年来文化创意产业逐渐成为炙热的话题,它不再只是一个抽象的概念,而是以创造力为核心,以高知识性、高附加值、高渗透性、低能耗、为特点的,有着巨大经济效益的新兴产业。动
伴随着我国城市化和市场化程度的不断加深,农村劳动力逐渐摆脱了土地的束缚,向城市转移,我国农村地区传统的占主导地位的“男耕女织”生产模式也随之发生了变化,大量男性劳动
本论文比较研究了珍珠龙胆与斜带石斑鱼稚鱼卵磷脂及鱼油利用,主要包括三方面内容：一、研究了饲料中不同大豆卵磷脂/鱼油比例对斜带石斑鱼稚鱼生长、饲料利用及肠道组织学的影