电磁六极透镜的磁场分布

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本文叙述一种可用于电子显微镜球差矫E系统的电磁六极透镜的磁场分布研究结果.研究工作系用实验测定磁场分布和理论分析相结合的方法,给出六极透镜磁感应强度各分量的数值和近似公式,特别着重分析了六极边缘区域的磁场分布情况. This paper describes the results of a magnetic field distribution study of an electromagnetic six-pole lens that can be used in an electron microscopy spherical aberration correction E-system. The research work is to combine the experimentally determined magnetic field distribution and theoretical analysis to give the numerical and approximate formulas of the magnetic induction intensity of the hexapole lens. The magnetic field distribution in the six-pole edge area is especially emphatically analyzed.
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