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提出了一种能敏感倾角的微机械气流式传感器。采用微机械工艺在硅板上腐蚀出一个深槽,在深槽上设置2个有金属薄膜热敏电阻器的悬臂梁,用半圆球外壳封装成一个密闭腔体形成敏感元件;通过惠斯登电桥提取倾角电压信号;利用单片机和温度传感器构成补偿电路,实现温度补偿和线性度补偿。测试结果表明:测量范围为±30°,分辨率为优于0.1°,响应时间优于50 ms,非线性度优于0.1%。该传感器不仅体积小,而且结构紧凑,工艺简单,敏感元件输出一致性好,适于批量生产。