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期刊论文
电子束偏放电路的计算机辅助设计
电子束偏放电路的计算机辅助设计
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:crystal_z
【摘 要】
:
本文介绍了应用现行的PSPICE V5.0软件和CAD优化技术,对亚微米电子束曝光机高速偏放电路的VMOSFET参数进行处理,针对电路中的关键参数;导通电阻、开关电阻、开关速度、温度影响、灵敏度及噪声干扰进
【作 者】
:
姚作宾
高文洪
【机 构】
:
山东工业大学自动化工程系
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
电子束曝光机
VMOSFET
CAD
功率放大器
electron beam exposure system
high speed deflection sy
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本文介绍了应用现行的PSPICE V5.0软件和CAD优化技术,对亚微米电子束曝光机高速偏放电路的VMOSFET参数进行处理,针对电路中的关键参数;导通电阻、开关电阻、开关速度、温度影响、灵敏度及噪声干扰进行分析、设计。
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