【摘 要】
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目的:对洁净室悬浮粒子的结果进行测量不确定度评估。方法:通过建立数学模型,识别和评估悬浮粒子测量过程的不确定度分量。结果:量化了各分量的相对标准不确定度,并计算出合
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目的:对洁净室悬浮粒子的结果进行测量不确定度评估。方法:通过建立数学模型,识别和评估悬浮粒子测量过程的不确定度分量。结果:量化了各分量的相对标准不确定度,并计算出合成标准不确定度。取k=2(置信概率95%),最终得出测量结果的扩展不确定度并给出测量不确定度报告。结论:洁净室悬浮粒子的测量不确定度主要来源为仪器计量性能引入的不确定度及各采样点的布置和测量引入的不确定度。
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