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提出了用灰阶编码的二元掩模代替灰阶掩模实现邻近效应精细校正的新方法 ,并阐述了新方法的特点。讨论了灰阶编码掩模与灰阶掩模的等效关系 ,给出了灰阶编码掩模实现光学邻近效应校正的模拟结果 ,校正后的综合面积偏差比校正前减少了 10 %。
用灰阶编码掩模实现邻近效应精细校正的研究
【摘 要】
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提出了用灰阶编码的二元掩模代替灰阶掩模实现邻近效应精细校正的新方法 ,并阐述了新方法的特点。讨论了灰阶编码掩模与灰阶掩模的等效关系 ,给出了灰阶编码掩模实现光学邻近
【机 构】
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四川大学物理系!成都610064; 内江教育学院!内江641002; Central Microstructure Facility; Rutherford Applet
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家自然科学基金!(6 990 70 0 3);教育部博士点基金;中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室资助课题
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