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电子级二氯二氢硅的气相色谱分析
电子级二氯二氢硅的气相色谱分析
来源 :辽宁化工 | 被引量 : 0次 | 上传用户:weige1985
【摘 要】
:
采用国产常规气相色谱仪分析强腐蚀性气体二氯二氢硅。以氢为载气,用热导检测器,在最佳的色谱条件下,用涂30%硅油(Ⅰ)的101白色担体为固定相,进样量为0.25ml,杂质的最小检测量均小于120×10~(-6),完全满足99%
【作 者】
:
孙福楠
陈国忠
冯庆祥
【机 构】
:
大连化学工业部光明化工研究所
【出 处】
:
辽宁化工
【发表日期】
:
1996年06期
【关键词】
:
二氯二氢硅
气相色谱
电子级
担体
最小检测量
热导检测器
腐蚀性气体
进样量
硅源
采样阀
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采用国产常规气相色谱仪分析强腐蚀性气体二氯二氢硅。以氢为载气,用热导检测器,在最佳的色谱条件下,用涂30%硅油(Ⅰ)的101白色担体为固定相,进样量为0.25ml,杂质的最小检测量均小于120×10~(-6),完全满足99%的二氯二氢硅的攻关要求。
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