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简要介绍了微波等离子体以及微波谐振炬点火器的应用研究情况。基于四分之一波长同轴谐振腔基本理论,采用电磁仿真软件HFSS设计出的一种微波等离子炬装置,在输入功率为5 W,腔体内电场可达到30kV/cm(标准气压下空气被击穿的电场强度),从而产生微波等离子体。
一种小型微波等离子炬装置
【摘 要】
：
简要介绍了微波等离子体以及微波谐振炬点火器的应用研究情况。基于四分之一波长同轴谐振腔基本理论,采用电磁仿真软件HFSS设计出的一种微波等离子炬装置,在输入功率为5 W,腔
【机 构】
：
电子科技大学物理电子学院
【出 处】
：
真空电子技术
【发表日期】
：
2015年5期
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